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OPTM 显微分光膜厚仪

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概要

使用显微光谱法在微小区域内通过反射率进行测量,可进行膜厚度/光学常数分析。

可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的测量,并且搭载了即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件。


特性

● 头部集成了薄膜厚度测量所需功能
● 通过显微光谱法测量反射率(多层膜厚度,光学常数)
● 1点1秒高速测量
● 显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
● 区域传感器的安全机制
● 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
● 独立测量头对应inline客制化需求
● 支持自定义

详细参数

型号 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范围 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范围 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
测定时间 1秒 / 1点
光斑大小 10μm (最小约5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘灯+卤素灯 卤素灯
电源規格 AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)
重量 约 55kg(自动样品台规格之主体部分)

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